在瞬息萬變的半導體行業，生產效率和產品質量是企業競爭力的核心。長期以來，半導體檢測領域面臨著一個“不可能三角”：高精度、高速度和高穩定性難以兼得，高精度往往以犧牲速度為代價，而追求產率又可能影響定位穩定性。傳統運動平臺往往在這些要素之間做出妥協，導致設備綜合效率低下，成本居高不下。

產品|飛馬座運動平臺

雅科貝思飛馬座運動平臺PGS-XYT系列，以系統層面的正向設計，從材料、結構、熱管理和運動控制等多個維度出發，徹底打破半導體行業困局。它不僅實現了毫秒級整定、亞微米級精度，更將靜態抖動控制在納米級別，為半導體制造帶來了革命性的突破。

飛馬座運動平臺

核心特點：三位一體，重塑生產力

?? 突破性產率：毫秒級響應，賦能高效制造

飛馬座運動平臺采用先進的直驅技術，結合輕量化高剛度結構設計、主動減震系統以及智能運動控制算法，將平臺整定時間縮短至10ms以內。這意味著更快的運動速度、更短的生產周期，從而大幅提升平臺產率，助力企業在激烈的市場競爭中贏得先機。

PGS-XY模組

?? 納米級抖動：精益求精，鑄就卓越品質

在精密制造領域，納米級抖動是衡量平臺性能的關鍵指標。飛馬座運動平臺搭載高信噪比控制系統，實現了3nm靜態抖動的卓越表現。這為半導體檢測、量測等對精度要求極高的應用場景提供了堅實保障。

?? 卓越潔凈性能：高標準環境，延長設備壽命

飛馬座運動平臺充分發揮直驅技術在潔凈度和壽命上的先天優勢，并采用低發塵設計、內置抽排系統和氣路污染隔絕等創新技術，實現了ISO2級別的超高潔凈度。這不僅能夠有效降低污染離子的傳播，更顯著延長設備的使用壽命，為企業創造更大價值。

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技術優勢：突破行業瓶頸

?? 震動管理：主動隔震，穩如磐石

飛馬座運動平臺采用先進的直驅技術，結合輕量化高剛度結構設計、主動減震系統以及智能運動控制算法，將平臺整定時間縮短至10ms以內，可滿足最大加速度2.5g的工況。這意味著更快的運動速度、更短的生產周期，從而大幅提升平臺產率，助力企業在激烈的市場競爭中贏得先機。

?? 輕量化高剛度設計：精益求精，追求極致

利用先進材料和拓撲優化等手段，飛馬座運動平臺實現了輕量化高剛度結構設計。三片式一體化設計不僅能夠壓縮空間尺寸，更能提高結構剛度，從根源上減少抖動和串擾，確保產率和精度的雙重提升。

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應用場景

飛馬座運動平臺憑借其卓越的性能，廣泛適用于半導體制造過程中的關鍵環節，包括：

半導體檢測與量測：

在晶圓檢測、缺陷分析、膜厚測量等高精度量測應用中，飛馬座平臺能夠提供穩定的運動控制和納米級抖動抑制，保障測量結果的準確性和可靠性。

套刻誤差檢測與校正：

在多層芯片制造過程中，套刻精度是影響芯片性能的關鍵因素。飛馬座平臺能夠輔助套刻誤差的檢測與校正，提高芯片的良率。

未來與展望雅科貝思深耕運動控制領域多年，始終關注半導體行業的發展趨勢。未來，雅科貝思將通過持續的技術創新、深化行業合作和拓展全球市場，致力于成為半導體行業領先的運動控制解決方案供應商，為推動半導體產業的發展貢獻力量。