導(dǎo)語：為了快速、可靠地測量微小組件和特征的表面輪廓，對運動和控制系統(tǒng)以及傳感器技術(shù)提出了高要求，從而確保最終產(chǎn)品滿足功能和質(zhì)量要求。選擇要使用的傳感器技術(shù)取決于傳感器分辨率、測量范圍和數(shù)據(jù)采集速度等標準。

為了快速、可靠地測量微小組件和特征的表面輪廓，對運動和控制系統(tǒng)以及傳感器技術(shù)提出了高要求，從而確保最終產(chǎn)品滿足功能和質(zhì)量要求。選擇要使用的傳感器技術(shù)取決于傳感器分辨率、測量范圍和數(shù)據(jù)采集速度等標準。

該運動解決方案的主要特點

·緊湊且經(jīng)濟的設(shè)計

·高度可重復(fù)的運動路徑

·極小的測量光斑尺寸

·高傳感器帶寬和分辨率，可實現(xiàn)快速響應(yīng)

·使用步進掃描算法實現(xiàn)更高的吞吐量

1、XY軸 - 傳感器快速步進和掃描運動

·無鐵芯線性電機，可實現(xiàn)高動態(tài)、精密且平穩(wěn)的運動，完成快速步進和掃描

·絕對編碼器，避免參考并確保操作安全?

·XY拖鏈電纜管理，可保持電纜完整性并延長使用壽命

2、Z軸 - 傳感器的精密垂直運動

·高精度滾珠絲杠線性平臺，配有步進電機和制動閘，運行可靠，定位簡單且極其穩(wěn)定?

·折疊式傳動系統(tǒng)和緊湊的設(shè)計，節(jié)省安裝空間?

·輕量化設(shè)計，可保持龍門動態(tài)性?

·價格經(jīng)濟，交付時間短

3、Z軸 - 用于距離控制的傳感器聚焦

·音圈直接驅(qū)動電機，可實現(xiàn)無摩擦運行、高掃描頻率與快速步進和穩(wěn)定

·高分辨率線性編碼器，可實現(xiàn)準確的位置反饋

·可調(diào)節(jié)的重力補償，確保安全運行

4、測量表面深度 - 光學(xué)距離傳感器

·光斑尺寸最小可達2微米，可以測量微小特征，并實現(xiàn)極其精密的定位?

·工作距離范圍廣，允許選擇各種任務(wù)和測量范圍?

·分辨率高、速度快，可實現(xiàn)動態(tài)自動聚焦補償和高產(chǎn)出量?

5、先進的自動化控制

·EtherCAT運動控制和驅(qū)動模塊提供開放式網(wǎng)絡(luò)連接

·將傳感器輸出轉(zhuǎn)換為位置數(shù)據(jù)，通過模擬接口或數(shù)字接口實現(xiàn)快速輸出

·廣泛的運動控制器算法，在確保快速運動和穩(wěn)定的同時，完成平滑掃描?

對于基于激光的傳感器，還需要考慮焦點尺寸或測量場或視野面積以及聚焦能力。配置運動控制系統(tǒng)時，需要確保傳感器快速而精確地放置在感興趣的點或區(qū)域。要滿足此要求，需要能夠快速移動到位置且具有短穩(wěn)定時間，或者快速、均勻地掃描特定區(qū)域。