PIMetro?運(yùn)動(dòng)解決方案

可重復(fù)的快速步進(jìn)與穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)

可靠且高質(zhì)量的大規(guī)模中國(guó)本地化生產(chǎn)

符合ISO 14644潔凈室5級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

先進(jìn)ACS控制功能：龍門(mén)控制，2D映射

遵循全球設(shè)計(jì)和計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)

模塊化和可擴(kuò)展，支持定制

快速、準(zhǔn)時(shí)交付：12周

快速服務(wù)響應(yīng)：24小時(shí)內(nèi)

高精度且可重復(fù)的360度旋轉(zhuǎn)，無(wú)空回

磁性直接驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)高速度和加速度

直接驅(qū)動(dòng)、無(wú)槽、無(wú)刷力矩電機(jī)可提供非常低的齒槽轉(zhuǎn)矩并實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的速度和低誤差運(yùn)動(dòng)

超精密空氣軸承由內(nèi)部開(kāi)發(fā)和制造

進(jìn)一步提升性能，以優(yōu)化異步操作的性能規(guī)格

低型面高度、高負(fù)載、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)異設(shè)計(jì)

直驅(qū)音圈技術(shù)可實(shí)現(xiàn)零齒槽效應(yīng)、納米級(jí)步長(zhǎng)的平滑運(yùn)動(dòng)以及快速響應(yīng)

高分辨率編碼器可實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的納米級(jí)定位

高精度防蠕動(dòng)交叉滾柱軸承

氣動(dòng)平衡系統(tǒng)可防止電機(jī)過(guò)熱并避免碰撞

經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，交付快捷

安裝在基軸上的高動(dòng)態(tài)耦合無(wú)鐵芯直線電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)強(qiáng)勁、快速的精密運(yùn)動(dòng)

雙編碼器系統(tǒng)可確保電機(jī)與偏轉(zhuǎn)角對(duì)準(zhǔn)，同時(shí)實(shí)現(xiàn)高分辨率和高精度

低型面高度多軸承剛性平臺(tái)可減少阿貝偏移，并實(shí)現(xiàn)更高的平面度和直線度

設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)高度的靈活性和定制能力

優(yōu)化的集成電纜管理可減少運(yùn)動(dòng)阻力并延長(zhǎng)使用壽命

花崗巖底座可確保運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的較高性能

選裝有源隔振系統(tǒng)

薄膜厚度測(cè)量應(yīng)用

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，在硅片上沉積了多個(gè)電介質(zhì)層

薄膜厚度測(cè)量用于測(cè)量各層的正確厚度

通常使用光學(xué)技術(shù)“橢圓偏振法”

橢圓偏振法測(cè)量光在薄膜表面上反射后的偏振度，從而可以確定這種層的厚度，直至埃水平

從晶圓級(jí)到芯片封裝

整個(gè)價(jià)值鏈的運(yùn)動(dòng)和定位解決方案